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        CVD氣相沉積爐
         

        CVD氣相沉積爐

        化學氣相沉積爐應用領域

        化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

        化學氣相沉積爐產品規格

        產品型號/規格W×H×L(mm)

        600*600*1000

        800*800*1200

        1000*1000*1500

        1200*1200*2500

        1500*1500*3000

        2500*2000*3600

        裝載重量(KG)

        350

        800

        1500

        2500

        5000

        10000

        最高溫度()

        1500

        1500

        1500

        1500

        1500

        1500

        溫度均勻性()

        ±7.5

        ±7.5

        ±7.5

        ±10

        ±10

        ±15

        加熱功率(kw)

        250

        360

        480

        600

        900

        1200

        極限真空度(Pa)

        20

        20

        20

        20

        20

        20

        壓升率(Pa/h)

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        以上化學氣相沉積爐參數可以根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

        化學氣相沉積爐主要配置

        爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

        爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

        爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC

        加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

        工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

        真空泵和真空計---進口/國產

        PLC:歐姆龍/西門子

        控溫儀表:日本島電/英國歐陸

        熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

        記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產

        人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機

        電器元件:正泰/施耐德/西門子

        料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

        化學氣相沉積爐技術特征

        本化學氣相沉積爐最大工作區尺寸可達2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

        本化學氣相沉積爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

        本化學氣相沉積爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

        本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        本化學氣相沉積爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

         

         

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